| ■マイクロ金属構造体形成に関する研究と金型への応用 |
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北垣寛、宮内宏哉
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| ●要旨 |
| 金型母材上に直接、フォトリソグラフィーによりレジストパターンを形成後、めっき加工によりマイクロ金属構造体を形成する新規プロセスを検討した。レジスト加工工程では、フィルムレジストを使用することで金型母材上に直接レジストパターンを形成することを可能とした。工程条件を最適化した結果、65ｍｍ×50ｍｍ（厚さ10ｍｍ）の金型母材上に最小寸法100μｍ角（深さ30μｍ）のキャビティ構造体等を形成することができた。製作した金型は、射出成形やホットエンボス加工などの樹脂成形金型へ活用することが可能である。 |
| ●本文（PDF2,143KB） |
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